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碳化硅材料加工解決方案取得市場新突破
來源:新聞中心
發布時間:2025年10月28日 編輯:新聞中心

  近日,電科裝備8-12英寸SiC材料加工局部成套解決方案成功應用,邁出了從示范驗證到產線推廣的重要一步。

  8-12英寸SiC材料加工局部成套解決方案是電科裝備積極落實集團公司改革試點工作部署,協同內部優勢資源、打造市場增量的“單項冠軍”培育產品之一。基于對產業鏈需求的精準把握,電科裝備瞄準8英寸及以上大尺寸碳化硅襯底的規模化生產需求,集合減薄設備、激光剝離設備等多款碳化硅襯底材料加工關鍵裝備,以線帶面,開展智能集成化聯合攻關,為行業提供局部成套解決方案。

  研制伊始,電科裝備便通過內協同外聯合,與內部單位共建示范線,開展方案的示范驗證工作,通過工藝協同和對單個設備技術創新升級,在持續迭代下,方案有效縮短產品生產周期,進一步減少了生產過程中的人為誤差,顯著提升了產品良品率和一致性,有效助力產線降低成本、提高效率、擴大產能,實現從示范驗證到首套設備成功推廣應用。

  后續,電科裝備將以此次產線應用為契機,進一步推動在大尺寸化、快速生產化、高良品率化、全自動化、低能耗化、整線智能化方面技術升級,以技術創新推動產業創新,全力打造具有全球競爭力的“單項冠軍”產品。

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